如何對真空爐進行泄漏檢測
來源：康沃真空網 | 發布時間：2022-02-12 |
真空爐的泄漏檢測主要采用兩種方法：噴吹法和吸嘴法。
噴吹法是傳統的泄漏檢測方法，它是將爐膛抽成真空，并在爐外施加氦氣(比如連接氦質譜儀)，然后觀察結果。
另一種方法是吸嘴檢測法，適用于您的檢測對象不能抽真空的情況。采用該方法時，需要將一種示漏氣體(比如氦氣)充入被檢測對象。被檢測對象的例子包括換熱器、水冷法蘭、水冷風機和軸、電饋通、水套等。當被檢測對象充入示漏氣體后，使用傳感器檢查其外部是否有任何氣體漏出。氦質譜儀也可用于這種檢測方法。
惰性氣體的泄漏檢測也很重要。這是因為，整個回充系統——從液態氣體儲存系統直到真空爐——的泄漏率必須為零。如果惰性氣體從供氣系統或者爐體上的氣閥漏出，會使真空爐表現出抽氣效果差、密封性差、極限真空度差、難以排出正常釋氣、返流等錯誤的跡象。
惰性氣體泄漏也有兩種常用的檢測方法，分別是薄膜(皂泡)檢漏和真空檢漏。一般來說，薄膜檢漏法是最容易和最快的高壓惰性氣體泄漏檢測法。它是在已知的可疑區域噴涂某種示漏液體，如果在任何檢查部位產生了氣泡，就能知道發現了一處泄漏。
真空檢漏是更精確的方法。它是將液氮或液氬儲存系統與真空爐脫離，確保整個系統處于真空狀態，然后使用氦質譜儀檢查系統的泄漏情況。在進行真空檢漏時，應當：
1. 關閉外部氣閥，以使外部液態氣體系統與蒸發器、回充儲罐、真空爐以及所有配套的減壓和回充管路脫開。
2. 使用真空爐的正常抽氣系統對爐膛進行抽真空操作。
3. 對回充儲罐進行減壓操作。
4. 對爐體上的回充閥人工送電以將其打開。這步操作應由有經驗的專家按照安全規定來執行。
一旦打開回充閥和將回充儲罐減壓到大氣壓水平，真空爐就開始抽除管路中的氣體。從氣體儲罐和蒸發器直到關閉的外部氣閥，其中的氣體都將被抽除。然后，可以使用真空爐的抽氣系統對整個回充系統進行抽氣，使整套系統都達到真空狀態。接下來，應當使用氦質譜儀對系統進行泄漏檢測。
當完成了真空爐和惰性氣體的全部泄漏檢測后，必須逐個消除每一處泄漏。
