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光刻機主要配置

來源：成都新德南光機械設(shè)備有限公司 | 發(fā)布時間：2015-12-28 |

光刻機的配置包括一下幾個方面：
(1)曝光頭
冷光橢球鏡
350 W進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
 XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺
 光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡1、準(zhǔn)直鏡鏡2、蠅眼透鏡組(77個透鏡)、i線濾光片、場鏡1、場鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2

 冷卻風(fēng)扇

光刻機

(2)對準(zhǔn)工件臺
掩模樣片相對運動臺
轉(zhuǎn)動臺
樣片調(diào)平機構(gòu),自動完成
樣片調(diào)焦機構(gòu)，氣缸自動調(diào)
承片臺3個(2英寸、3英寸、4英寸)
掩模夾4個(2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸)
掩模抽拉式上下機構(gòu)
(3)雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡(可以選擇帶CCD型，目鏡和監(jiān)視器可同時觀測)
光源、電源
雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體
目鏡3對(10倍、16倍、20倍，共6個)
物鏡3對(4倍、10倍、20倍，共6個)
CCD光學(xué)系統(tǒng)(選配件)
XYZ底面對準(zhǔn)工件臺