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國內(nèi)首套光刻機(jī)生產(chǎn)線成功投產(chǎn)

來源：成都新德南光機(jī)械設(shè)備有限公司 | 發(fā)布時(shí)間：2015-03-01 |

中新江蘇網(wǎng)徐州2月2日電(仲欣)目前，由國內(nèi)某公司研發(fā)的國內(nèi)首臺(tái)具有世界領(lǐng)先水平、擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的雙工件臺(tái)光刻機(jī)生產(chǎn)線目前已成功投產(chǎn)，該生產(chǎn)線填補(bǔ)了國內(nèi)空白。

　　據(jù)了解，隨著集成電路的發(fā)展，高端芯片應(yīng)用領(lǐng)域已延伸至手機(jī)、電腦、數(shù)控設(shè)備等各個(gè)行業(yè)，其封裝技術(shù)更是向高密度、更高性能發(fā)展，因此能夠生產(chǎn)高端芯片的大視場(chǎng)、大焦深、高精度光刻機(jī)成為先進(jìn)封裝生產(chǎn)線上的關(guān)鍵設(shè)備。長期以來，光刻機(jī)的生產(chǎn)技術(shù)一直被以色列的奧寶科技、日本的ORC、富士、網(wǎng)屏和日立等五家國際企業(yè)壟斷，國內(nèi)光刻設(shè)備完全依賴進(jìn)口。